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壓力傳感器過載后果和簡單的保護方法

發(fā)布時間: 2022-11-09  點擊次數(shù): 2057次

壓力傳感器有很多參數(shù)指標,其中有一項是過載保護,過載就是負荷過大,超過了設(shè)備本身的額定負載,產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過大,用電設(shè)備發(fā)熱,線路長期過載會降低線路絕緣水平,甚至燒毀傳感器設(shè)備或線路;過載保護就是即使負荷超過了額定負載也不會出現(xiàn)燒壞線路的情況,但是也有一個度,一般是150%的范圍內(nèi),而且不能持續(xù)過載工作。

??壓力傳感器有很多形式,每種結(jié)構(gòu)形式的過載保護設(shè)計方法也是各不相同的,眾多方法都有各自的優(yōu)點和缺點,采用MEMS 技術(shù)的小量程、高靈敏壓力傳感器通 常有平膜、島膜、梁膜等結(jié)構(gòu),在設(shè)計過載保護時,一般采用凸臺等方法實現(xiàn),形成方法有背部刻蝕技術(shù)、硅直接鍵合技術(shù)、玻璃刻蝕技術(shù)等。然而這些結(jié)構(gòu)一般都 有一個很大的局限性就是腔體尺寸較大,進一步提高靈敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工藝的復(fù)雜度,提高了生產(chǎn)成本。

??目前,小量程、高靈敏壓力傳感器的研究熱點集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器,這主要是因為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片很薄,厚度可做到2 μm,甚至更薄。在這樣薄的結(jié)構(gòu)上,如果采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻,其厚度相對較大,對彈性膜片應(yīng)力分布影響很大,不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化,因此采用多晶硅納米薄膜制作應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)點。

??過載保護是每種傳感器都要考慮的,因為在使用過程中可能會出現(xiàn)測量值大于量程的情況,只有設(shè)計了過載保護的傳感器才能更好的使用,也才能使用得更久。具體每種傳感器的過載保護是如何設(shè)計的,過載范圍是多少都是不同的,所以不管是買哪種傳感器一定要了解它的過載保護是多少,這樣才能更好的方便使用,在未來使用過程中也不會出現(xiàn)由于過載燒壞電路的情況。以上便是為大家介紹壓力傳感器的過載后果和保護方法。

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